コフロック
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精密ニードルバルブ付流量計
MODEL RK1200 SERIES
本器は高精度フロート式流量計と、精密制御のできるニードルバルブを組み合せた高級グレードのバルブ付フロート式流量計です。微少流量の計測制御に最適の製品です。
■特長
- 超微少の流量制御が可能です。
- 精密ニードルバルブ使用。
- 下部・上部2タイプのバルブ。
- 豊富なバリエーション。
■用途
- 機器組込用に。
- 半導体関連ガス機器に。
- バイオ産業向けに。
- 真空ライン制御に。
標準仕様
| ガス | 液体 | |
|---|---|---|
| 流体名 | Air、N2、O2、H2、He、Ar、CO2 (実ガス校正) 他ガスは換算校正 実ガス校正別途相談 ※オプション:2種流体目盛 | 標準流体(水) 他液体は換算校正 実液校正別途相談 |
| 流量レンジ | 0.5〜5ML/MINから10〜100L/MIN ※オプション:0.5〜3ML/MIN | 0.5〜5ML/MINから0.2〜2L/MIN ※オプション:0.5〜3ML/MIN |
| 精度 | FS±2%(計測ポイント) ※オプション:FS±1%(計測ポイント) | FS±2%(計測ポイント) |
| 耐圧 | 100ML/MIN以下:1.0MPa 5L/MIN以下:0.7MPa 10L/MIN以上:0.5MPa | 5ML/MIN以下:1.0MPa 150ML/MIN以下:0.7MPa 200ML/MIN以上:0.5MPa |
| 有効目盛 | 10:1 ※オプション 20:1 | |
| 材質 | SS製 | BS製 |
| 本体ブロック | SUS316 | 真鍮 |
| テーパー管 | パイレックスR | |
| パッキン | バイトンR | NBR |
| フロート | パイレックスR、SUS316、SUS304 | |
| 保護カバー | アクリル | |
| 耐温度 | 120℃ | 70℃ |
| 接続口 | Rc1/4(標準)、Rc1/8(オプション) | |
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